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出版社:"中国科学技术大学出版社"
作者:"王琪民, 刘明侯, 秦丰华"
出版年:"20100001"
微机电系统工程基础
:王琪民, 刘明侯, 秦丰华
作者：
王琪民, 刘明侯, 秦丰华
出版社：
中国科学技术大学出版社
出版时间：
20100001
ISBN：
978-7-312-02468-9
索书号：
TM38/16
分类号：
TM38
价格：
CNY38.00
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本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章, 较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等, 还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识, 分析了微系统中的工程特点等。
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中国科学技术大学出版社
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作者
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