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作者:"张亚非, 段力"
出版年:"20180101"
集成电路制造技术
:张亚非, 段力
作者：
张亚非, 段力
出版社：
上海交通大学出版社
出版时间：
20180101
ISBN：
978-7-313-18651-5
索书号：
TN405/41
分类号：
TN405
页数：
439页
价格：
CNY88.00
丛书：
前沿电子信息专业教材系列
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化（光刻）、加法（薄膜的技术）、减法（刻蚀技术）、乘除法（离子注入、silicide）及其集成电路工程学（良率、可靠性）和集成电路后勤工作（超净问、IC衍生产业链）几大类，便于学生掌握、记忆和类推。
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文献类型
中文图书
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出版社
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