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半导体科学与技术丛书
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作者:"陆大成, 段树坤"
金属有机化合物气相外延基础及应用
:陆大成, 段树坤
作者:
陆大成, 段树坤
出版社:
科学出版社
出版时间:
20090101
ISBN:
978-7-03-023845-0
索书号:
O627/2
分类号:
O627
页数:
361页
价格:
CNY75.00
丛书:
半导体科学与技术丛书
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本书是国内第一本全面系统地介绍MOVPE的专著,从理论和实践两个方面分别论述了该技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力学和输运现象等理论基础。在此基础上系统介绍了III-V族和II-VI族化合物半导体材料生长及其量子阱、量子点等低维结构的MOVPE生长,以及在光电器件和电子器件方面的应用。
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作者
陆大成, 段树坤
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20090101
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