返回检索首页
我的图书馆登录
书 名
作 者
分类号
ISBN
索书号
主题词
出版社
任意词
每页显示
10
20
50
排序选项
排序方式
出版日期
索书号
出版社
排序方式
降序排列
升序排列
张伟
共有
1
条记录
共耗时[0.000]秒
页码：
1
/
1
每页显示：
10
记录
跳转：
作者:"(美) 斯蒂芬 A·坎贝尔, 严利人, 张伟"
微纳尺度制造工程
:(美) 斯蒂芬 A·坎贝尔, 严利人, 张伟
作者：
(美) 斯蒂芬 A·坎贝尔, 严利人, 张伟
出版社：
电子工业出版社
出版时间：
20110001
ISBN：
978-7-121-13428-9
索书号：
TN405/27\3
分类号：
TN405
页数：
19, 640页
价格：
CNY83.00
丛书：
国外电子与通信教材系列
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术, 覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺, 包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发等。
详细信息
索书号
展开
缩小检索范围
文献类型
中文图书
(
1
)
出版社
电子工业出版社
(
1
)
只显示前10条......
电子工业出版社
(
1
)
查看更多信息......
作者
(美) 斯蒂芬 A·坎贝尔, 严利人, 张伟
(
1
)
只显示前10条......
(美) 斯蒂芬 A·坎贝尔, 严利人, 张伟
(
1
)
查看更多信息......
出版年
20110001
(
1
)
只显示前10条......
20110001
(
1
)
查看更多信息......
张伟
共有
1
条记录
共耗时[0.000]秒
页码：
1
/
1
每页显示：
10
记录
跳转：