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微电子材料与制程
/陈力俊
作者
陈力俊
价格
CNY68.00
出版者
复旦大学出版社
索书号
TN4/20
ISBN
7-309-04363-4
分类号
TN4
页数
11, 613页
出版日期
20050101
出版地
上海
附件
:
附注提要
内容包括半导体基本理论、硅晶圆制造、硅晶薄膜、刻蚀技术、光刻技术、离子注入、金属薄膜、氧化介电层、电子封装及材料分析等。
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TN4/20
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