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现代集成电路制造工艺原理
/李惠军
作者
李惠军
价格
CNY30.00
出版者
山东大学出版社
索书号
TN405/11
ISBN
978-7-5607-3331-9
分类号
TN405
页数
295页
出版日期
20070101
出版地
济南
附件
:
附注提要
本书围绕当代集成电路制造的基础工艺,重点介绍所涉及的基本原理,并就当前集成电路芯片制造技术的最新发展作了较为详尽的阐述。
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