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微系统设计与制造/王喆垚

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    • 附注提要
    本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术, 以及前沿应用领域的多种典型器件, 主要内容包括: 微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统 (PF MEMS)、光学微系统 (MOEMS)、生物医学微系统 (BioMEMS) 以及微流体与芯片实验室。
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    馆藏信息
    序号 索书号 条码号 订户 馆藏地点 馆藏状态 借出日期 还回日期 流通类型 预约处理 卷册说明 登录号
    1 TN4/37 A0611984 HDFT 总馆闭架库A 入藏 外借图书 30104432
    2 TN4/37 A0611983 HDFT 总馆闭架库A 入藏 外借图书 30104431
    3 TN4/37 A0611982 HDFT 总馆 入藏 外借图书 0