微机电系统设计: 建模、仿真与可视化/卢桂章, 赵新

本书建立了一种微电子机械器件的设计方法, 对现有设计习题功能作了一些重要的补充和完善, 其基本思路是在设计阶段, 当版图和工艺设计完成后, 通过建立运动部件的动态模型, 进行三维可视化仿真, 形成器件在虚拟环境中运行, 从而对器件的运行功能进行评测。这种功能主要体现在: 应用三维可视化技术得到器件加工后的三维实体模型和进行可加工性验证; 对此实体模型进行动态建模, 并进行虚拟运行, 以考察其运动性能; 建立基于IP库的设计习题, 提供了一种自顶向下和自底向上相结合的设计手段。