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集成电路制造技术: 原理与实践/庄同曾

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    • 附注提要
    本书是一本较全面地介绍集成电路制造技术的书籍,共分16章,包括单晶制备,芯片制造,化学气相淀积,完美晶体工艺等。
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    馆藏信息
    序号 索书号 条码号 订户 馆藏地点 馆藏状态 借出日期 还回日期 流通类型 预约处理 卷册说明 登录号
    1 TN405/32 A1081255 HDFT 南区分馆闭架库 入藏 外借图书 40268680
    2 TN405/32 A1081254 HDFT 南区分馆闭架库 入藏 外借图书 40268679
    3 TN405/32 A1081253 HDFT 总馆 入藏 外借图书 0