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集成电路制造工艺技术体系/严利人, 周卫

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    • 附注提要
    本书包括：IC制造的技术特点与发展趋势，半导体器件与工艺结构，IC制造单项工艺技术，IC制造工艺原理。
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    馆藏信息
    序号 索书号 条码号 订户 馆藏地点 馆藏状态 借出日期 还回日期 流通类型 预约处理 卷册说明 登录号
    1 TN405/36 A1314858 HDFT 总馆 入藏 外借图书 0
    2 TN405/36 A1314857 HDFT 总馆 入藏 外借图书 0
    3 TN405/36 A1314856 HDFT 南湖书苑 入藏 外借图书 0