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半导体科学与技术丛书
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作者:"严利人, 周卫"
集成电路制造工艺技术体系
:严利人, 周卫
作者：
严利人, 周卫
出版社：
科学出版社
出版时间：
20170101
ISBN：
978-7-03-050157-8
索书号：
TN405/36
分类号：
TN405
页数：
x, 236页
价格：
CNY98.00
丛书：
半导体科学与技术丛书
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本书包括：IC制造的技术特点与发展趋势，半导体器件与工艺结构，IC制造单项工艺技术，IC制造工艺原理。
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中文图书
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出版社
科学出版社
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作者
严利人, 周卫
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20170101
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