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清华大学信息科学技术学院教材
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作者:"王喆垚"
微系统设计与制造
:王喆垚
作者：
王喆垚
出版社：
清华大学出版社
出版时间：
20080101
ISBN：
978-7-302-15196-8
索书号：
TN4/37
分类号：
TN4
页数：
648页
价格：
CNY59.00
丛书：
清华大学信息科学技术学院教材
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术, 以及前沿应用领域的多种典型器件, 主要内容包括: 微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统 (PF MEMS)、光学微系统 (MOEMS)、生物医学微系统 (BioMEMS) 以及微流体与芯片实验室。
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作者
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出版年
20080101
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