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出版社:"复旦大学出版社"
微电子材料与制程
:陈力俊
作者：
陈力俊
出版社：
复旦大学出版社
出版时间：
20050101
ISBN：
7-309-04363-4
索书号：
TN4/20
分类号：
TN4
页数：
11, 613页
价格：
CNY68.00
复本数：
在馆数：
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累借次数：
内容包括半导体基本理论、硅晶圆制造、硅晶薄膜、刻蚀技术、光刻技术、离子注入、金属薄膜、氧化介电层、电子封装及材料分析等。
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