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出版社:"山东大学出版社"
现代集成电路制造工艺原理
:李惠军
作者：
李惠军
出版社：
山东大学出版社
出版时间：
20070101
ISBN：
978-7-5607-3331-9
索书号：
TN405/11
分类号：
TN405
页数：
295页
价格：
CNY30.00
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本书围绕当代集成电路制造的基础工艺，重点介绍所涉及的基本原理，并就当前集成电路芯片制造技术的最新发展作了较为详尽的阐述。
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中文图书
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作者
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