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电路原理
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作者:"李惠军"
现代集成电路制造工艺原理
:李惠军
作者：
李惠军
出版社：
山东大学出版社
出版时间：
20070101
ISBN：
978-7-5607-3331-9
索书号：
TN405/11
分类号：
TN405
页数：
295页
价格：
CNY30.00
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书围绕当代集成电路制造的基础工艺，重点介绍所涉及的基本原理，并就当前集成电路芯片制造技术的最新发展作了较为详尽的阐述。
详细信息
索书号
展开
现代集成电路制造技术原理与实践
:李惠军
作者：
李惠军
出版社：
电子工业出版社
出版时间：
20090101
ISBN：
978-7-121-07753-1
索书号：
TN405/11A
分类号：
TN405
页数：
xiii, 435页
价格：
CNY49.00
丛书：
电子信息与电气学科规划教材
复本数：
在馆数：
累借天数：
累借次数：
本书介绍当代集成电路制造的基础工艺, 重点介绍基本原理和当前集成电路芯片制造技术的最新发展。本书共18章, 主要内容包括: 硅材料及衬底制备、外延生长工艺原理、氧化介质薄膜生长、半导体的高温掺杂、离子注入低温掺杂、薄膜汽相淀积工艺、图形光刻工艺原理、掩模制备工艺原理、集成电路工艺仿真、集成结构测试图形、电路管芯键合封装、集成电路性能测试、工艺过程的理化分析、管芯失效及可靠性、超大规模集成制造工艺、芯片产业质量管理、可制造性设计工具和可制造性设计理念等。
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文献类型
中文图书
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出版社
山东大学出版社
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电子工业出版社
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电子工业出版社
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作者
李惠军
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李惠军
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出版年
20070101
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20090101
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